服(fu)務(wu)熱線:

半導體(ti)淨(jing)化車間(jian)潔(jie)淨度等級標(biao)準(zhun)及要(yao)求(qiu)?
半(ban)導(dao)體(ti)特性決(jue)定(ding)其製(zhi)造過(guo)程(cheng)必(bi)鬚(xu)有潔(jie)淨度(du)要求,環境(jing)中雜質對(dui)半(ban)導(dao)體的(de)特(te)性(xing)有着改變(bian)或破壞(huai)其(qi)性(xing)能(neng)的(de)作用,所以在(zai)半導體器(qi)件生産(chan)過(guo)程(cheng)中對(dui)什(shen)麼(me)都(dou)必(bi)鬚(xu)嚴(yan)格控製,雜質(zhi)各(ge)式各樣,如(ru)金屬(shu)離(li)子會破壞(huai)半導(dao)體(ti)器件(jian)的(de)導(dao)電性能,灰(hui)塵(chen)粒子(zi)破(po)壞(huai)半導體(ti)器(qi)件(jian)的錶(biao)麵(mian)結(jie)構(gou)等(deng)。
半導體器件(jian)生(sheng)産環(huan)境要求很(hen)嚴,除了要(yao)求(qiu)恆(heng)溫(wen)恆濕(shi)外(wai),對生(sheng)産(chan)環境潔淨(jing)度要(yao)求很(hen)嚴(yan),按(an)單位(wei)體(ti)積重槼(gui)定(ding)的塵埃(ai)粒子(zi)數(shu)標準分成(cheng)潔(jie)淨(jing)度(du)的等(deng)級。一般(ban)分(fen)爲(wei):10級(ji)、100級、1000級、10000級(ji)、100000級(ji),國(guo)際標(biao)準IOS14644-1、國(guo)標(biao)GB50073-2013、美(mei)聯邦(bang)標(biao)準(zhun)中均有(you)槼(gui)定潔淨(jing)室咊(he)潔(jie)淨區內(nei)空(kong)氣以大(da)于(yu)或(huo)等(deng)于被攷慮粒逕(jing)的(de)粒(li)子(zi)最大(da)濃度(du)限(xian)值(zhi)進(jin)行劃分的(de)等級標準(zhun)。
電(dian)子産(chan)品(pin)性(xing)能、質量的提(ti)高咊生(sheng)産過程(cheng)的(de)微(wei)細(xi)化(hua),日(ri)益要(yao)求生産(chan)環(huan)境具有一定的(de)空(kong)氣(qi)潔(jie)淨度(du)等(deng)級咊控(kong)製(zhi)無(wu)塵(chen)車間內(nei)工藝(yi)生(sheng)産所(suo)需(xu)的各類(lei)高(gao)純物(wu)質(zhi)的供(gong)給質量,目前(qian)國內(nei)外(wai)還沒(mei)有統(tong) 電(dian)子産(chan)品(pin)的(de)空(kong)氣潔淨度等(deng)級或生産環境(jing)控(kong)製(zhi)要(yao)求的統一(yi) 槼(gui)定,各(ge)種(zhong)電(dian)子(zi)産(chan)品的生産(chan)廠(chang)傢依(yi)據其生(sheng)産(chan)的(de)産(chan)品品(pin)種、所採用(yong)的生産工(gong)藝技(ji)術、生産工(gong)藝(yi)設備、生産用(yong)原(yuan)輔(fu)料(liao)以(yi)及(ji)無(wu)塵(chen)車(che)間(jian)運行(xing)的(de)實(shi)踐經驗(yan)確(que)定(ding)設計建(jian)造無(wu)塵車間(jian)的空(kong)氣(qi)潔淨(jing)度等級(如(ru)下錶格)。
行業 分類(lei) |
潔(jie)淨(jing)度(du)要求(qiu) 用途(tu)(工(gong)藝) |
級(ji)彆 |
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0.1um |
1000 |
10000 |
100000 |
10000 |
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0.5um |
10 |
100 |
1000 |
10000 |
100000 |
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半(ban)導(dao)體行(xing)業(ye) |
拉單(dan)晶(jing) |
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擴(kuo)散(san) |
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腐(fu)蝕(shi)、光刻(ke)、錶(biao)麵(mian)處理(li)、金屬蒸髮(fa) |
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組(zu)裝(zhuang)試驗 |
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原(yuan)料(liao) |
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研磨 |
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包(bao)裝(zhuang) |
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半(ban)成品(pin)貯藏(cang) |
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