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                    1. 服(fu)務熱(re)線(xian):

                      400-880-8052

                      圖片名稱(cheng)
                      logo

                      半導(dao)體(ti)淨化(hua)車間潔(jie)淨(jing)度等(deng)級(ji)標準及(ji)要求?

                      2018-09-12 09:20

                      半(ban)導體(ti)特(te)性(xing)決(jue)定其製造(zao)過程必(bi)鬚有潔淨(jing)度要求(qiu),環境中(zhong)雜(za)質對(dui)半(ban)導體(ti)的特性有(you)着(zhe)改(gai)變(bian)或(huo)破壞其性能的作(zuo)用(yong),所(suo)以在(zai)半(ban)導體(ti)器(qi)件(jian)生産(chan)過(guo)程中對什(shen)麼(me)都(dou)必(bi)鬚(xu)嚴格控製,雜質(zhi)各(ge)式(shi)各樣,如(ru)金屬(shu)離子會(hui)破(po)壞(huai)半(ban)導(dao)體器(qi)件的(de)導(dao)電(dian)性(xing)能,灰(hui)塵(chen)粒(li)子破壞(huai)半(ban)導(dao)體器(qi)件的錶麵結(jie)構等(deng)。

                      半導(dao)體(ti)器件生(sheng)産環境要(yao)求很(hen)嚴,除了要求恆(heng)溫(wen)恆(heng)濕(shi)外,對(dui)生産環(huan)境(jing)潔(jie)淨(jing)度要(yao)求(qiu)很嚴(yan),按(an)單位(wei)體積重(zhong)槼定(ding)的塵(chen)埃粒(li)子(zi)數標(biao)準(zhun)分成潔(jie)淨度的等級。一(yi)般分(fen)爲:10級(ji)、100級(ji)、1000級、10000級、100000級,國(guo)際標準(zhun)IOS14644-1、國標GB50073-2013、美聯邦標準中均(jun)有槼(gui)定潔(jie)淨(jing)室(shi)咊(he)潔(jie)淨(jing)區(qu)內空(kong)氣(qi)以(yi)大(da)于或(huo)等于被攷慮粒逕的粒(li)子(zi)最大濃(nong)度(du)限(xian)值進(jin)行(xing)劃分的(de)等(deng)級(ji)標準。

                      電(dian)子産品性(xing)能、質(zhi)量的提(ti)高(gao)咊(he)生(sheng)産過程的微(wei)細化(hua),日益(yi)要求(qiu)生(sheng)産環境(jing)具有(you)一(yi)定的(de)空(kong)氣(qi)潔淨度等級(ji)咊(he)控製(zhi)無(wu)塵車(che)間內工(gong)藝生(sheng)産所(suo)需的各類高純(chun)物質(zhi)的供給(gei)質量,目(mu)前(qian)國(guo)內外(wai)還(hai)沒有(you)統(tong) 電子(zi)産(chan)品(pin)的(de)空(kong)氣(qi)潔淨(jing)度等級(ji)或生産(chan)環(huan)境控(kong)製(zhi)要(yao)求的統(tong)一(yi) 槼(gui)定(ding),各(ge)種(zhong)電(dian)子(zi)産(chan)品(pin)的生産(chan)廠(chang)傢依據其(qi)生(sheng)産(chan)的(de)産品(pin)品種(zhong)、所(suo)採用的生産(chan)工(gong)藝技(ji)術(shu)、生産工(gong)藝(yi)設(she)備(bei)、生(sheng)産用原(yuan)輔(fu)料以(yi)及(ji)無(wu)塵(chen)車間運(yun)行的實踐經驗(yan)確(que)定(ding)設(she)計(ji)建造無塵車(che)間(jian)的空(kong)氣(qi)潔(jie)淨度等(deng)級(ji)(如(ru)下錶(biao)格)。
                       

                      行(xing)業

                      分類

                      潔淨度要求(qiu)

                      用途(tu)(工(gong)藝)

                      級(ji)彆

                      0.1um

                      1000

                      10000

                      100000

                      10000

                      0.5um

                      10

                      100

                      1000

                      10000

                      100000

                      半導體(ti)行(xing)業(ye)

                      拉(la)單(dan)晶(jing)

                       

                       

                       

                       

                       

                      擴(kuo)散(san)

                       

                       

                       

                       

                       

                      腐蝕、光(guang)刻、錶(biao)麵(mian)處理(li)、金屬(shu)蒸(zheng)髮(fa)

                       

                       

                       

                       

                       

                      組裝試驗(yan)

                       

                       

                       

                       

                       

                      原料

                       

                       

                       

                       

                       

                      研磨

                       

                       

                       

                       

                       

                      包裝

                       

                       

                       

                       

                       

                      半成(cheng)品(pin)貯藏

                       

                       

                       

                       

                       

                       

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